在半導(dǎo)體行業(yè)，晶圓作為硅錠的薄片，是眾多電子應(yīng)用的基礎(chǔ)核心部件。而半導(dǎo)體晶圓拋光，作為準(zhǔn)備晶圓投入使用的關(guān)鍵步驟，其質(zhì)量直接影響著后續(xù)芯片制造的良品率和性能。在這一精密過(guò)程中，精確的力控制是制造出一致、高質(zhì)量產(chǎn)品的核心要素，Proportion-Air的比例閥憑借其優(yōu)秀性能，成為了半導(dǎo)體晶圓拋光領(lǐng)域的得力助手。

?

獨(dú)立精準(zhǔn)，滿足多元拋光需求

在半導(dǎo)體晶圓拋光場(chǎng)景中，7個(gè)MM1比例閥被巧妙地安裝在SBM - 7子底座歧管上，共同承擔(dān)起控制彈簧加載氣缸上力的重任。這個(gè)底座設(shè)計(jì)十分精妙，擁有共同的進(jìn)氣口和排氣口，實(shí)現(xiàn)了氣源的集中管理，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)布局。而每個(gè)MM裝置又具備獨(dú)立工作的能力，在必要時(shí)可根據(jù)不同晶圓的拋光要求，單獨(dú)精確調(diào)節(jié)壓力，從而控制氣缸施加在晶圓上的力。這種獨(dú)立又協(xié)同的工作模式，使得同一拋光系統(tǒng)能夠靈活應(yīng)對(duì)多種規(guī)格和材質(zhì)晶圓的拋光任務(wù)，大大提高了生產(chǎn)效率和設(shè)備的通用性。

閉式循環(huán)，電子控壓穩(wěn)定可靠

MM系列作為具有成本效益的閉式循環(huán)閥門(mén)，在電子控制壓力方面表現(xiàn)出色。它能夠覆蓋從全真空到175 PSI的廣泛壓力范圍，無(wú)論是需要低壓精細(xì)拋光，還是正壓強(qiáng)力研磨，都能輕松勝任。其±0.2%全量程的準(zhǔn)確性，確保了壓力控制的精準(zhǔn)度，能夠?qū)飧咨系牧_調(diào)節(jié)到所需數(shù)值，為晶圓提供穩(wěn)定且均勻的拋光壓力。±0.02%全量程的重復(fù)性更是保證了每次拋光過(guò)程中力的施加高度一致，使得每一片晶圓都能達(dá)到相同的拋光效果，有效提高了產(chǎn)品的一致性和質(zhì)量穩(wěn)定性。

耐用設(shè)計(jì)，適應(yīng)惡劣工業(yè)環(huán)境

半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間的工作環(huán)境往往較為復(fù)雜，存在各種振動(dòng)、灰塵和不穩(wěn)定因素。MM系列比例閥充分考慮了這些實(shí)際工況，具備極其耐用的特性。它能夠承受工業(yè)環(huán)境中的各種挑戰(zhàn)，包括店鋪空氣中的雜質(zhì)、設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的振動(dòng)等，抗沖擊和振動(dòng)能力高達(dá)25 Gs。即使在這樣惡劣的條件下，依然可以根據(jù)用戶(hù)的命令信號(hào)輕松、準(zhǔn)確地控制壓力，確保拋光過(guò)程的連續(xù)性和穩(wěn)定性，減少了因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷和晶圓損壞風(fēng)險(xiǎn)，為半導(dǎo)體企業(yè)降低了生產(chǎn)成本。

反饋靈活，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)精準(zhǔn)調(diào)控

MM系列比例閥還具備可配置外部反饋的優(yōu)勢(shì)，能夠接受負(fù)載傳感器或其他類(lèi)型的變送器作為第二個(gè)回路輸入。這一設(shè)計(jì)使得系統(tǒng)形成了閉環(huán)控制，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣缸上的實(shí)際壓力，并將反饋信號(hào)傳輸給比例閥，比例閥可以根據(jù)反饋信息及時(shí)調(diào)整輸出壓力，進(jìn)一步提高了力控制的精度和響應(yīng)速度。例如，當(dāng)負(fù)載傳感器檢測(cè)到氣缸壓力因外界因素發(fā)生微小變化時(shí)，比例閥能夠迅速做出反應(yīng)，將壓力調(diào)整回設(shè)定值，確保晶圓拋光過(guò)程始終處于最佳狀態(tài)。

多壓兼容，簡(jiǎn)化系統(tǒng)復(fù)雜程度

MM系列比例閥的另一大亮點(diǎn)是可以在同一裝置中控制真空、低壓和正壓。這一特性極大地簡(jiǎn)化了半導(dǎo)體晶圓拋光系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，減少了所需設(shè)備的數(shù)量和系統(tǒng)復(fù)雜程度。在傳統(tǒng)的拋光系統(tǒng)中，可能需要多個(gè)不同類(lèi)型的閥門(mén)來(lái)分別控制不同壓力范圍，而MM系列比例閥憑借其多壓兼容能力，一個(gè)閥門(mén)就能滿足多種壓力控制需求，不僅節(jié)省了空間和成本，還提高了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。

規(guī)格多樣，安裝便捷適配性強(qiáng)

從技術(shù)規(guī)格來(lái)看，MM系列比例閥最大流可達(dá)1.2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺每分鐘（34升每分鐘），能夠滿足不同規(guī)模拋光生產(chǎn)線的流量需求。1/8″ NPT（可選BSPP）的端口大小，方便與各種管道和設(shè)備連接。其工作溫度范圍為32 - 158°F (0 - 70°C)，過(guò)濾精度為40微米，能夠有效保護(hù)閥門(mén)內(nèi)部零件，延長(zhǎng)使用壽命。此外，它還提供了DIN導(dǎo)軌、面板和歧管等多種安裝選項(xiàng)，最多可在子基座集管上安裝12個(gè)MM，為企業(yè)根據(jù)自身生產(chǎn)場(chǎng)地和設(shè)備布局進(jìn)行靈活安裝提供了便利。

Proportion-Air的比例閥以其獨(dú)立精準(zhǔn)的控制能力、穩(wěn)定可靠的閉式循環(huán)控壓、耐用的設(shè)計(jì)、靈活的反饋機(jī)制、多壓兼容特性以及多樣的規(guī)格和便捷的安裝方式，在半導(dǎo)體晶圓拋光領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)出高質(zhì)量、一致性的晶圓產(chǎn)品提供了有力保障。如有需求，歡迎咨詢(xún)天津聯(lián)科思創(chuàng)科技發(fā)展有限公司。